所谓加工的微观质量是指加工表面极小间距微小峰谷不平度，即表面粗糙度。表面微观质量好，耐磨损，平板使用寿命高。而工作面小范围内的局部畸变是指加工表面不平整、有变形。这里所说的工作面小范围，对小平板而言是局部位置，对大平板则是局部面积。平整性反映了平板局部误差。