研磨平台比刮研平台精度高，平台表面铲刮刀痕被研磨平，平面度误差小。工作原理是游离的磨粒通过研磨平台对工件进行微量的切削（包含着物理和化学的综合作用），修正工件加工表面极微小的误差。

物理作用：

研磨时，可预先把磨料压嵌在研磨平台（简称研具）表面，也可在研具或工件表面涂一层研磨剂。由于研具的材料比被研磨的工件软，研磨剂中的磨粒在研具表面一种半固定或浮动的多刃基体。当研具与工件相对施加压力作研磨运动时，介于两者之间的无数磨粒作刮划、滚动，从而产生微量的切削作用，而每一磨粒都不会在工件表面重复自己的运动轨迹。

化学作用：

当采用氧化铬、硬脂酸或其他划线研磨剂对工件进行研磨时，工件的金属表面会形成一层极薄的氧化膜。氧化膜本身很容易被研磨掉。在研磨过程中氧化膜迅速形成，又不断的被磨掉，从而加快了研磨过程。